반응형 lithography1 Photo 공정 총정리 (포토공정) 안녕하세요! 인생루틴입니다. 반도체 단위 공정 중 Photo 공정에 대해 설명해보는 시간을 가져보도록 하겠습니다. Photo(Litho [돌]+Graphy [인쇄]) 공정: 반도체 Layer는 Photo 공정이 기준 1. Lithography Photo Mask 상에 설계된 소자의 패턴(Pattern)을 웨이퍼 상에 구현(이온주입/식각 공정의 선행 공정) 2. 공정의 특징 : 반도체 핵심기술 모든 프로세스 기술의 중심, 가장 많은 금액의 장비 투자가 필요한 공정 Photo 공정 순서 HMDS 처리 (기판/PR 접착력 향상) → PR Coating (Spin Coating) → Soft Bake (PR 內 Solvent 휘발) → Mask Align (Mask 정렬) → Exposure (노광 공정) → .. 2022. 10. 31. 이전 1 다음 반응형
