플라즈마의 특성
반도체 공정을 이해하기에 앞서 반드시 알아야 할 플라즈마의 특성에 대해 알아보자. 1. 플라즈마(Plasma) 고체, 액체, 기체에 이은 '제4의 물질 상태'라고 하는 플라즈마는 기체 상태의 분자나 원자가 이온화되어 양이온과 전자가 섞여 있지만 전체적으로는 중성 상태인 이온화 가스이다. 반도체 공정에서 사용하는 플라즈마는 기체 분자 중 한 개 정도가 이온화되어 있는 저온 플라스마이다. 플라즈마는 일종의 기체상 태이지만 이온과 전자의 존재로 인해 전기 전도체이고, 자기장에 의해 영향을 받는 특성이 있다. ① 플라즈마의 분류 플라즈마는 압력, 온도, 소스에 따라 분류할 수 있다. 압력 : 진공 플라즈마, 대기압 플라즈마 온도 : 열 플라즈마, 저온 플라즈마 소스 : DC, AC, MF, RF, MW ② 플라..
2022. 10. 28.
