반응형 Etchprocess1 식각 공정 (ETCH Process) 안녕하세요! 인생루틴입니다. 반도체 단위 공정 중 식각 공정(ETCH Process)에 대해 설명해보는 시간을 가져보도록 하겠습니다. 1. 식각 공정 (ETCH Process) 반도체 Photo(노광)이 이뤄진 부분을 화학적으로 깎아내는 작업 2. Process Wet Etch : 화학 용액을 활용하는 습식 식각 Dry Etch : 플라즈마 기체를 활용하는 건식 식각 3. Wet Etch VS Dry Etch Wet 방식은 Chemical 용액으로 등방성, Dry 방식은 반응성 플라즈마를 이용하여 수직의 이방성 식각이 가능 Wet Etch는 식각 속도와 선택비가 좋지만 정밀도가 떨어지고 Dry Etch는 반대 정밀도가 좋지만 식각속도와 선택비가 떨어짐 → 점점 더 미세화 되는 공정일수록 Dry Etch를.. 2022. 11. 3. 이전 1 다음 반응형
